Therma-Wave公司最近宣布,正式進入中國300mm半導體市場。Therma-Wave介紹說,中國一家主要的晶圓加工廠選中了Therma-Probe 300mm離子植入監測工具,用于裝備其新設的300mm晶圓廠。

據介紹,該客戶還再次訂購了多套Opti-Probe薄摸測量系統,用于裝備其設于上海的200mm晶圓廠。Therma-Wave表示,這筆薄摸訂單表明,它現有的200mm晶圓廠的產能還要進一步擴大。

隨著新晶圓廠在中國幾個主要城市(如上海、北京、天津、蘇州、成都及深圳)的建造,分析人士認為,中國芯片市場總額有望增加兩倍,從2005年的290億美元到2007年的800億美元左右。國際半導體設備暨材料協會(SEMI)與日本半導體設備協會(SEAJ)的數據顯示,2003中國新增半導體設備的市場總額已經達到11.6億美元。