全球最大的純閃存解決方案供應商Spansion日前宣布開始在其位于日本的Spansion 1(SP1)工廠采用MirrorBit技術在300mm晶圓上生產65nm產品,并計劃于年底向客戶大量供貨。為慶祝這一盛事,Spansion專門在SP1舉行了隆重的慶祝活動。SP1是世界上第一家300mm NOR制造廠,對Spansion領先差異化閃存解決方案戰略的實施具有重要意義。在活動過程中,Spansion高層管理人員展示了采用MirrorBit技術的65nm工作硅片并帶領嘉賓參觀了晶圓廠。

SP1晶圓制造廠是Spansion成為獨立的公司以來所建立的第一家工廠。Spansion將原計劃12億美元中的很大一部分投資用于建造SP1并購置設備。Spansion預計,這筆投資將帶來每月15,000-20,000片300mm晶圓的產能,隨著投資的擴大,以后還能擴充到每月30,000-40,000片。Spansion計劃在SP1生產MirrorBit Eclipse等尖端產品,并在2008年生產45nm產品。SP1與Spansion另一家工廠JV3都位于日本會津,與JV3共用員工及設施等部分資源。

Spansion總裁兼首席執行官Bertrand Cambou表示:“我們正按計劃在300mm晶圓上逐步將MirrorBit技術升級到45nm。憑借新一代的工廠設施以及MirrorBit技術所帶來的成本與技術優勢,我們一定能夠實現承諾,為客戶創造更多價值并重新定義閃存業。”

從研發到生產

Spansion在其位于硅谷的MirrorBit研發中心Submicron development Center(SDC)啟動了300mm晶圓研發項目。65nm MirrorBit技術制程就是在該中心開發的,現已轉移到SP1準備投入量產。目前該中心正全力在300 mm晶圓上開發45nm產品,目標于2008年將該技術在SP1廠實現。在加州硅谷,Spansion是唯一一家進行300mm NOR閃存研發的公司。

MirrorBit技術

采用MirrorBit技術所獲得的產量比傳統浮動門NOR技術所帶來的產量高,而且更容易擴展到更高容量。與浮動門NOR技術相比,MirrorBit技術具有更簡單的存儲單元,減少了所需的關鍵制造步驟。因此MirrorBit技術可以以較低的晶圓總成本進行生產。

Spansion制定了雄心勃勃的制程技術發展藍圖,每年突破一個新的節點。Spansion在其所有晶圓廠采用MirrorBit技術即可實現代碼和數據存儲解決方案的高效生產。

Spansion的晶圓廠產能包括:

·Spansion位于日本會津若松市的SP1 300mm晶圓廠,生產65nm和45nm MirrorBit產品。

·Spansion位于美國德克薩斯州奧斯汀市Fab 25晶圓廠,生產90nm和將來的65nm MirrorBit產品。

·Spansion位于日本會津若松市的JV3工廠,生產110nm MirrorBit產品。這是Spansion主要的內置鋁制造廠(internal aluminum fab)。

·與TSMC建立代工關系以生產采用MirrorBit技術的110nm及90nm產品,以便在需求高峰期間提供產能保障。

·與富士通建立代工關系,生產320nm、230nm和200nm的MirrorBit及/或浮動門鋁制金屬層產品,主要是為了滿足消費電子、機頂盒和工業產品事業部(CSID)的需要。