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      ENTEGRIS電子流量計InVue NT4400

      發布日期:2022-04-29 點擊率:48

      產品介紹

      InVue NT4400 電子流量計設計用于半導體行業的高的純度應用,并與高腐蝕性過程兼容。 流通設計大限度地減少死體積,降低過程污染的可能性。 該儀器的所有接液部件均采用 PTFE 和其他高的純度含氟聚合物。該儀器采用非金屬壓力傳感技術,利用差壓提供準確可靠的流量和壓力測量。 流量和壓力測量不受氣泡或滯留蒸汽的影響。 所有產品都經過工廠校準和 100% 驗證,無需現場校準,安裝簡單。 標準電子輸出可輕松與 PLC、控制系統和電子顯示器集成。

      性能特點

      沒有運動部件產生粒子

      用于可靠測量的非金屬傳感技術

      用于附加過程信息的集成壓力傳感器

      流通式設計,大限度地減少死體積

      關鍵測量的 1% 滿量程精度

      易于安裝在任何方向

      技術參數

      詳細參數

      產品應用

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