盡管微位移機構(gòu)可以實現(xiàn)很高的位移分辨率，但為了能夠獲得可靠的應(yīng)用，仍需要位置檢測傳感器。考慮到微位移機構(gòu)的特點，目前測量微位移的裝置除了前面介紹的光柵測量系統(tǒng)和激光干涉儀測量系統(tǒng)外，還有電阻應(yīng)變式微位移傳感器和電容式微位移傳感器等。
    電阻應(yīng)變式微位移傳感器是將待測位移轉(zhuǎn)換力電阻量變化的裝置，主要由彈性體、電阻應(yīng)變敏感元件和變換電路等組成。用電阻應(yīng)變式微位移傳感器組成位置閉環(huán)控制系統(tǒng)，可以將傳感器和微位移驅(qū)動器集成于一體，而無需附加機構(gòu)，所以靈敏度高、體積小、成本低、位移分辨率較高，但非線性誤差較大，易受溫度影響。
    電容式微位移傳感器是將待測位移轉(zhuǎn)換為電容量變化的裝置。它實質(zhì)上是個具有可變參數(shù)的電容器。和其他傳感器不同，電容式位移傳感器輸入能量極低，只需要非常小的輸入力。由于帶電板板之間的靜電引力很小，只有幾個牛頓，因此電容傳感器特別適用于解決輸入能量極低的測量問題，尤其適合于微小的位移測量。其次可以獲得比較大的相對變化量，采用高線性電路，動態(tài)范圍可達(dá)到100％或更大，這就可以大大提高傳感器的輸出能力。動態(tài)響應(yīng)快。電容傳感器的動片質(zhì)量輕，系統(tǒng)的固有頻率高，同時電容的介質(zhì)損耗非常小，因而傳感器能在數(shù)兆赫的載頻下工作，因此，特別適合于動態(tài)測量的場合。