1.能有效的減小波紋度。超精研過程中，當磨石與工件接觸的圓弧大于或等于工件表面波紋度的波長時，就能保證磨石始終作用于波峰而不與波谷接觸，這樣波峰的接觸壓力較大，凸峰就被切除，因而減少了波紋度。
          超精研是指在良好的潤滑條件下，工件以一定的速度旋轉(zhuǎn)，同時用細粒度的磨石以一定的壓力壓向工件加工表面，并且在垂直于工件旋轉(zhuǎn)方向作往復(fù)震蕩運動的一種加工方法。
        2.改善球軸承滾道的溝形誤差。超精研可以有效的改善滾道的溝形誤差，一般可改善35％左右。
        3.能使被超精研表面產(chǎn)生壓應(yīng)力。超精研過程中主要產(chǎn)生冷塑形變形，因而超精研后工件表面形成殘余壓應(yīng)力。
        4.降低表面粗糙度值。
        5.能使套圈工作表面的接觸面積增加。超精研后，套圈工作表面接觸支承面積可由磨削后的15％～40％，增加到80％～95％。
        6.生產(chǎn)效率高，勞動強度低，易于實現(xiàn)自動化。

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