MEMS傳感器起始于汽車(chē)和工業(yè)，但這十年真正推波助瀾的是消費(fèi)類(lèi)電子。如今，MEMS的下一波浪潮有望重新回到汽車(chē)和工業(yè)。因?yàn)椋啾绕鹣M(fèi)電子市場(chǎng)很大但會(huì)很快退潮的特點(diǎn)，工業(yè)應(yīng)用需求更強(qiáng)，生命周期也更長(zhǎng)。

既然精度這么重要，那么MEMS傳感器提高精度的方法有哪些呢？

從傳感器原理來(lái)看，通常采用著名的傳感器精度衡量方法——阿倫方差（AVAR）。但做傳感器產(chǎn)品時(shí)有一些物理的局限性不可規(guī)避。例如MEMS傳感器里一部分是機(jī)械結(jié)構(gòu)，它會(huì)老化，且會(huì)隨著溫度和時(shí)間會(huì)有變化。這些參數(shù)解釋成電子的術(shù)語(yǔ)就是背景噪聲、白噪聲或者不穩(wěn)定、隨機(jī)的抖動(dòng)。其控制方法要用生產(chǎn)或者矯正的方法來(lái)做。

噪聲包括本身機(jī)械結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的噪聲，還有閃變?cè)肼暫透哳l噪聲。高頻噪聲是傳感器在應(yīng)用時(shí)的數(shù)字輸出，在任何電子線路里會(huì)有電磁耦合現(xiàn)象。因此在處理時(shí)，傳感器廠商要有足夠的經(jīng)驗(yàn)幫助客戶(hù)在算法上規(guī)避或抑制、消除掉這些噪聲。

時(shí)間的穩(wěn)定性毋庸置疑是解決老化，例如今天輸入1出來(lái)100%，明天輸入1出來(lái)99%，就要控制輸入穩(wěn)定性。溫度的穩(wěn)定性，指產(chǎn)品特性在0℃和50℃時(shí)肯定不一樣，你要盡量在設(shè)計(jì)中消除和平衡溫度的影響。重復(fù)測(cè)試的穩(wěn)定性，數(shù)據(jù)線路中輸入1輸出0，如果達(dá)不到0就是錯(cuò)。

測(cè)量沒(méi)有百分之百的準(zhǔn)確，因?yàn)樗悄M的，因?yàn)閮?nèi)部整個(gè)鏈路還是模擬的，信號(hào)產(chǎn)生源是模擬的。因此，需要考慮偏移、靈敏度、非線性誤差(NL)、交叉軸誤差(CX)。

實(shí)際應(yīng)用中還有哪些因素會(huì)影響MEMS傳感器的精度呢？