基于對(duì)MEMS傳感器以及模擬電路設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)的積累，于近兩年發(fā)布了一系列超低噪聲的振動(dòng)傳感器。它們可以用來替代傳統(tǒng)的壓電傳感器，可以說是列劃時(shí)代的產(chǎn)品，使得智能制造成為可能。

“能和人對(duì)話，目前專注的領(lǐng)域是振動(dòng)分析，當(dāng)然，一般振動(dòng)分析會(huì)結(jié)合溫度檢測(cè)應(yīng)用。通過振動(dòng)分析，可以保證機(jī)器的安全性，做預(yù)維護(hù)，量產(chǎn)保證以及質(zhì)量監(jiān)控。”

與傳統(tǒng)的壓電傳感器相比，MEMS的振動(dòng)傳感器有非常多的優(yōu)勢(shì)，比如說MEMS可以低頻甚至是直流信號(hào)，但壓電的就不行，這是受其設(shè)計(jì)原理的限制。再就是耐沖擊的能力;隨著時(shí)間和溫度變化，傳感器的穩(wěn)定性;整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)的線性度;刻度因子的平坦度；物理尺寸;傳感器是否能自檢等等。這些都是MEMS振動(dòng)傳感器的優(yōu)點(diǎn)。還有最重要的一點(diǎn)就是價(jià)格，由于壓電傳感器需要手工制作，既無法保證一致性，又使得其成本很高，很難享受規(guī)模效應(yīng)所帶來的好處，但MEMS振動(dòng)傳感器是采用的標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝，很容易利用規(guī)模效應(yīng)來控制成本，使得其與壓電傳感器相比，有明顯的價(jià)格優(yōu)勢(shì)。這樣，才能讓所有的機(jī)器說話，因?yàn)槠涑杀臼强山邮艿摹?/span>

未來該類傳感器的發(fā)展會(huì)是小型化，低功耗，低噪聲，大帶寬和高量程。而且在客戶端會(huì)有越來越多的無 線解決方案來替代傳統(tǒng)的有線方案。