原子熒光光譜分析儀裝置主要由三個部分組成，即激發光源、原子化器和檢測系統,檢測系統主要包括分光系統（某些情況可省去）,光電轉換裝置,放大系統和輸出系統。
　　原子熒光光譜分析儀組成示意圖

　　1.氣路系統；2.氫化物發生系統；3.原子化器；4.激發光源；5.光電倍增管；6.前置放大器
　　7.負高壓；8.燈電源；9.爐溫控制；10.數據處理系統；11.打印機；A.光學系統
　　一、激發光源
　　激發光源是原子熒光光譜僅的主要組成部分，以脈沖方式供電的空心陰極燈在原子 熒光光譜法中得到非常廣泛的應用。
　　無電極放電燈也是原子熒光分析中的重要光源，由于沒有電極，因此必須放在諧振腔 中用微波來激發，使用較為麻煩。
　　二、原子化器
　　適用于原子熒光光譜分析的原子化器具有下列特點：原子化效率高，物理或化學干擾 少，在測量波長處具有較低的背景發射，激發線的穩定性好，不含有高濃度的滅劑，在光 路中原子有較長的壽命。
　　三、火焰原子化器
　　空氣一乙炔火焰是原子吸收分析中比較理想的火焰原子化器，但是由于它有強烈的 燃燒反應，因此具有很強的光譜背景，嚴重影響到原子熒光分析法的檢出限?而氬氫火焰 具有較低的背景發射，能夠得到很好的檢出限，但是火焰溫度太低，只能用于簡單樣品的 分析。因此，原子熒光的使用受到一定的限制。
　　-氫化物法原子化器
　　最近幾年，氫化物發生一原子熒光法得到了較快的發展，這種方法是基于在含As、 Sh、Bi、Se、Te或S11的酸性溶液中加入硼氫化鉀，使上述元素形成氫化物，當氫化物引入 氬氫火焰被原子化時，可以得到很高的靈敏度。但是能夠進行氫化物發生的元素較少。
　　-檢測系統
　　由于原子熒光的譜線比較簡單，因此大多數原子熒光光譜僅是非色散型的，為了防止 實驗室光線的影響，光電轉換裝置大都采用目盲型光電倍增管。