烘烤裝置常用電阻絲及紅外管加熱器作為加熱元件。紅外管加熱器使用安全可靠、壽命長，但被烘烤真空系統的形狀受到一定限制。電阻絲使用方便、價格低廉，而且被烘烤設備的形狀不受限制。

    烘烤除氣裝置根據被烘烤對象的型式可大致分成下面幾種類型。

    ①整體真空烘箱

    整體式真空烘箱適用于玻璃真空系統、小型部件及電子器件的烘烤除氣。

    常用的真空烘箱有兩種結構：加熱器放在真空罩中的內熱式烘箱和放在真空罩外部的外熱式烘箱，內熱式烘箱的加熱器不能使用普通電爐絲，因為它們在真空中容易蒸發。所以常用W或Mo絲作加熱器。外熱式烘箱利用不銹鋼鐘罩將加熱器與被加熱部件隔開，部件依靠鐘罩加熱后產生的輻射熱加溫。其優點是加熱溫度均勻，避免了加熱器直接面對部件帶來的蒸發物污染問題。

    此外,由于加熱器可以從鐘罩上取走，因此被加熱部件冷卻快，使用方便。

    真空烘箱結構示意圖

    真空烘箱的真空度一般應高于10^-2Pa。真空度過低會影響除氣效果，還容易產生放電甚至電弧現象，另外發熱材料容易氧化并蒸發污染被加熱部件。真空烘箱的一個附帶用途是通過改變烘箱內的氣壓對被加熱器件進行高靈敏度的快速檢漏。

    ②分離式烘箱

    即將整體烘箱分成幾塊電熱板，使用時通過連接件組合起來。這種烘箱對被烘烤對象的形狀適應性強,適用于形狀復雜的真空設備的烘烤。

    ③用電阻絲和玻璃纖維布做成“烘烤帶”，包在被烘烤設備的外部對設備進行加熱除氣。這種型式適用于形狀復雜真空系統及設備的臨時性烘烤或局部烘烤。

    ④在真空設備外部敷上紅外管加熱器對設備進行加熱。適用于大型、中型真空設備的烘烤。

（慧樸科技，huiputech）