烘烤裝置常用電阻絲及紅外管加熱器作為加熱元件。紅外管加熱器使用安全可靠、壽命長，但被烘烤真空系統(tǒng)的形狀受到一定限制。電阻絲使用方便、價(jià)格低廉，而且被烘烤設(shè)備的形狀不受限制。

    烘烤除氣裝置根據(jù)被烘烤對(duì)象的型式可大致分成下面幾種類型。

    ①整體真空烘箱

    整體式真空烘箱適用于玻璃真空系統(tǒng)、小型部件及電子器件的烘烤除氣。

    常用的真空烘箱有兩種結(jié)構(gòu)：加熱器放在真空罩中的內(nèi)熱式烘箱和放在真空罩外部的外熱式烘箱，內(nèi)熱式烘箱的加熱器不能使用普通電爐絲，因?yàn)樗鼈冊(cè)谡婵罩腥菀渍舭l(fā)。所以常用W或Mo絲作加熱器。外熱式烘箱利用不銹鋼鐘罩將加熱器與被加熱部件隔開，部件依靠鐘罩加熱后產(chǎn)生的輻射熱加溫。其優(yōu)點(diǎn)是加熱溫度均勻，避免了加熱器直接面對(duì)部件帶來的蒸發(fā)物污染問題。

    此外,由于加熱器可以從鐘罩上取走，因此被加熱部件冷卻快，使用方便。

    真空烘箱結(jié)構(gòu)示意圖

    真空烘箱的真空度一般應(yīng)高于10^-2Pa。真空度過低會(huì)影響除氣效果，還容易產(chǎn)生放電甚至電弧現(xiàn)象，另外發(fā)熱材料容易氧化并蒸發(fā)污染被加熱部件。真空烘箱的一個(gè)附帶用途是通過改變烘箱內(nèi)的氣壓對(duì)被加熱器件進(jìn)行高靈敏度的快速檢漏。

    ②分離式烘箱

    即將整體烘箱分成幾塊電熱板，使用時(shí)通過連接件組合起來。這種烘箱對(duì)被烘烤對(duì)象的形狀適應(yīng)性強(qiáng),適用于形狀復(fù)雜的真空設(shè)備的烘烤。

    ③用電阻絲和玻璃纖維布做成“烘烤帶”，包在被烘烤設(shè)備的外部對(duì)設(shè)備進(jìn)行加熱除氣。這種型式適用于形狀復(fù)雜真空系統(tǒng)及設(shè)備的臨時(shí)性烘烤或局部烘烤。

    ④在真空設(shè)備外部敷上紅外管加熱器對(duì)設(shè)備進(jìn)行加熱。適用于大型、中型真空設(shè)備的烘烤。

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