在所有的高真空系統中，特別是超高真空系統的應用中，將氣體從構成真空系統的材料中放出并排除掉是非常重要的。在超高真空條件下，器壁表面實際上并未與環境氣氛處于平衡狀態，而是覆蓋著一層可凝性氣體，其含量遠遠超過平衡狀態下的含量，所以在超高真空區域，器壁的放氣率只取決于抽氣時間和表面的經歷，而與系統的總壓力無關。

    一般情況下，不銹鋼超高真空系統的極限烘烤溫度為450℃左右，但是某些試驗研究表明：在系統的除氣過程中，烘烤溫度不需要特別嚴格規定，而系統各處溫度的均勻性要比烘烤溫度重要得多。最好的方法是盡可能均勻地烘烤整個系統，而烘烤溫度在150~250℃比較合適。

    如果在系統內部的某種材料不能承受150℃的溫度或者某些重要部件的熱膨脹可能引起麻煩時，就應選擇較低的烘烤溫度，但一定要對系統所有的部件都要盡可能地均勻烘烤，而且烘烤所持續的時間應加長。

    如果系統表面上附有高結合能的物質，則需要較高的烘烤溫度才能有比較理想的放氣率。當無法對系統整體進行均勻烘烤，例如，當真空室內裝有熱容量大的法蘭或有絕熱的裝置時，對它們進行均勻烘烤十分困難，則需要選擇較高的烘烤溫度。

(慧樸科技，huiputech)