橡膠密封圈的主要缺點是不耐烘烤且在室溫下放氣量大，所以許多要求高溫烘烤(>200℃)和只準使用低蒸氣壓(室溫時蒸氣壓<10^-10Pa)材料的超高真空系統裝置，不能使用橡膠密封，而需用金屬密封圈密封。

    金屬密封圈有兩個突出的優點：①放氣遠比橡膠少；②用它密封的系統和裝置可以在高溫下烘烤去氣，因此能滿足超高真空的要求。

    金屬密封也有很多缺點：

    ①金屬密封圈彈性差，需要很大的密封力才能保障可靠的真空密封；

    ②重復使用性很差，有些金屬密封圈只能使用一次；

    ③法蘭密封面和刀口的粗糙度和配合精度要求高，很小的傷痕都能破壞密封，特別是大尺寸法蘭加工很困難；

    ④密封圈和法蘭材料的熱膨脹系數相差較大，加熱不均勻或密封結構設計得不正確，會引起局部變形而造成漏氣。

（慧樸科技，huiputech）