材料在大氣環(huán)境下都能吸附、溶解氣體，因而存放于大氣中的材料在真空條件下，吸附在材料表面的氣體和溶解在材料內(nèi)部的氣體會(huì)逐漸放出，這種現(xiàn)象稱為材料的出氣。單位時(shí)間、單位面積的出氣量稱為出氣速率。

    不同材料具有不同的出氣速率，即使是同一種材料由于冶煉條件、存儲(chǔ)條件、加工工藝、表面粗糙度、銹蝕情況以及放入真空室之前的預(yù)處理的不同，都會(huì)影響材料出氣速率，這就是不同作者測量的出氣速率不盡相同的原因。

    選用材料的出氣速率時(shí)，一定要考慮這些情況，盡可能選用測試條件接近的數(shù)據(jù)，必要時(shí)可對(duì)材料的出氣速率進(jìn)行復(fù)檢。

    材料的出氣速率是溫度的函數(shù)，是出氣時(shí)間的慢變化函數(shù)。通常出氣時(shí)間延長一個(gè)數(shù)量級(jí)，出氣速率只降低0.5~1個(gè)數(shù)量級(jí)。經(jīng)過真空除氣的材料，長時(shí)間暴露大氣后重新吸氣并恢復(fù)到原來的狀況。經(jīng)常運(yùn)轉(zhuǎn)的真空系統(tǒng)，在兩次運(yùn)轉(zhuǎn)之間短時(shí)間暴露大氣(1h以內(nèi))，可等效為材料已在真空中經(jīng)歷了10h的出氣時(shí)間；對(duì)于經(jīng)常運(yùn)轉(zhuǎn)的系統(tǒng)，停止運(yùn)轉(zhuǎn)后保持低真空而不暴露大氣，則可等效為經(jīng)歷了100h的出氣時(shí)間。

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