外熱式真空熱處理爐應(yīng)用最早，其結(jié)構(gòu)簡單，主要是在電阻爐的結(jié)構(gòu)上附設(shè)真空系統(tǒng)，爐腔不需用水冷卻，也稱熱壁式真空爐或真空馬弗爐。工件放于可抽真空的爐腔中，從外面加熱爐腔，為了減少爐腔所受的壓力，有時將爐腔外部的爐膛也抽成真空的。

    這類爐子多采用電阻加熱，個別也有采用氣體、液體燃料加熱和感應(yīng)加熱的。這種爐型的設(shè)計關(guān)鍵是爐腔（馬弗）材料的選擇問題。由于爐腔外承受 1個大氣壓的壓力，工作時爐腔材料應(yīng)具有足夠的高溫強度。

    外熱式真空爐的優(yōu)缺點如下：

    1）結(jié)構(gòu)簡單，爐子造價低，操作維護簡便。

    2）由于馬弗罐內(nèi)無電熱元件和隔熱屏等，因而放氣源少，易于清理，易于獲得真空。

    3）由于電熱元件布置在馬弗罐外，因而無氣體放電及其它電氣（如短路，積碳等）弊端。

    但是由于受馬弗爐腔材質(zhì)的限制，外熱式真空爐的工作溫度一般不高。在較高溫度下，爐腔的壽命短。另外，由于工件是通過腔體間接加熱，因而加熱效率低，加熱和冷卻時間長，生產(chǎn)率低，并且一次處理量一般不宜過大。

    內(nèi)熱式真空熱處理爐，通常是電阻加熱的。爐中安設(shè)電熱元件，隔熱屏、爐床、風(fēng)扇，傳送機構(gòu)和其它構(gòu)件等。通過電熱元件的熱輻射或充入氣體氣流循環(huán)加熱工件，爐殼多采用雙層水冷式設(shè)計，因而也可稱作冷壁式真空爐。

    電熱元件多位于加熱室中部，圍繞工件有效加熱區(qū)設(shè)計安置，外部是金屬輻射屏或非金屬隔熱屏結(jié)構(gòu)，爐床安裝在加熱室下部，風(fēng)扇結(jié)構(gòu)多安設(shè)在冷卻室，也有安設(shè)于加熱室的一端，上部或下部，并且和熱交換器裝置組成強制氣流循環(huán)的加熱和冷卻系統(tǒng)。傳遞機構(gòu)多設(shè)在冷卻室，有些和爐外料筐支架相連，根據(jù)用途和某些特殊要求采取不同型式結(jié)構(gòu)。真空電極通過爐殼引入，設(shè)計時要考慮加真空電極的水冷和密封結(jié)構(gòu)，以保證其良好的工作特性。

    內(nèi)熱式真空熱處理爐，種類繁多，數(shù)量大，是當(dāng)前真空熱處理爐的主要爐型，可用于退火、淬火、回火、燒結(jié)、釬焊、固溶時效、真空化學(xué)熱處理等加工處理，與外熱式真空爐相比，主要特點是：

    1）因不采用耐熱爐罐，溫度范圍廣，最高加熱溫度可達2200℃或更高。通常，爐子的容量依工件大小及批量決定，沒有技術(shù)指標(biāo)限制。

    2）結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，爐子造價高，但易于實現(xiàn)全過程的自動化，工作中無污染，環(huán)境好，操作安全。

    3）爐子熱慣性小，加熱和冷卻工序循環(huán)短，熱效率較高，生產(chǎn)率也較高。

    4）爐溫均勻性好，可達±5℃，工件加熱均勻，變形微小，產(chǎn)品質(zhì)量好。

    5）加熱期間不需要保護氣氛，除非為防止金屬揮發(fā)或在低溫區(qū)提高加熱速度和爐溫均勻性通入的氣體外，一般充入氣體多采用N2，有時根據(jù)要求通入H2、Ar或Ne氣等。

    6）電熱元件與隔熱屏，特別是非金屬隔熱屏和爐內(nèi)構(gòu)件以及工件，支架等均處于真空高溫下工作，常放出大量氣體。因而，所配備的真空系統(tǒng)較設(shè)計計算值應(yīng)相應(yīng)增大，經(jīng)驗和實踐均證實了這一點。

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