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　　電容式濕度傳感器直接感應(yīng)相對(duì)濕度的變化，將濕度的變化轉(zhuǎn)換為電容的變化，再將電容量的變化經(jīng)信號(hào)調(diào)理電路轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)，提供給相關(guān)控制或監(jiān)測(cè)電路。電容式濕度傳感器的特點(diǎn)有：響應(yīng)快，線性度高，遲滯低以及長(zhǎng)期穩(wěn)定性好等，所以應(yīng)用也越來(lái)越廣泛。

　　電容式相對(duì)濕度傳感器通常由熱固聚合物，三層電容結(jié)構(gòu)，鉑電極，以及集成信號(hào)調(diào)理電路（高溫應(yīng)用除外）等組成。如下圖所示，其中熱固聚合物包裹在傳感器的最外層，主要是起保護(hù)作用，防止臟物、灰塵、油汅等覆蓋或進(jìn)入到傳感器中，腐蝕鉑電極，影響傳感器的響應(yīng)速度等。而外層的鉑電極上充滿了小孔，確保帶水氣的空氣快速、順利地進(jìn)入到傳感器內(nèi)部，加快傳感器的響應(yīng)速度，減小測(cè)量的遲滯。

　　在實(shí)際應(yīng)用中，基于水汽親和力的電容式、電阻式或?qū)щ姳∧な降臐穸葌鞲衅骷葘?duì)濕度敏感，同時(shí)也對(duì)溫度敏感，所以為達(dá)到高精度的測(cè)量或?qū)挏囟确秶ぷ鳎瑴囟妊a(bǔ)償是必不可少的。要實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償，溫度的測(cè)量必須盡可能地靠近濕度傳感器的測(cè)量環(huán)境，特別是利用濕度與溫度來(lái)計(jì)算露點(diǎn)時(shí)，這一點(diǎn)尤其重要。工業(yè)級(jí)的濕度和露點(diǎn)測(cè)量設(shè)備通常會(huì)在傳感器襯底的反面集成一個(gè)1000歐姆的鉑RTD溫度傳感器，用于溫度補(bǔ)償。

　　當(dāng)傳感器感應(yīng)區(qū)域的表面溫度低于環(huán)境露點(diǎn)溫度時(shí)，這時(shí)傳感器感應(yīng)區(qū)域表面就容易結(jié)露，哪怕感應(yīng)區(qū)域表面溫度或傳感器內(nèi)局部溫度只是短暫地低于環(huán)境露點(diǎn)溫度，傳感器內(nèi)部或表面都有可能結(jié)露，特別是當(dāng)工作環(huán)境的濕度高于95%時(shí)，溫度的細(xì)微波動(dòng)，都有可能造成結(jié)露。

　　 為避免高濕與結(jié)露環(huán)境對(duì)濕度傳感器的影響，通常有一些措施，如保持良好的空氣流通減少溫度的波動(dòng)；給濕度傳感器加燒結(jié)的不銹鋼過(guò)濾網(wǎng)，使用防水涂層進(jìn)一步抑制結(jié)露的影響。