VTI的傾角傳感器是由高質量硅電容傳感器元件和接口電子組成并裝配在特定的應用包裝中的。硅電容傾角傳感器的元件是由單晶硅和玻璃做成的。這種設計能確保相對于時間和溫度的可靠性,史無前例的準確性和優秀的穩定性。通常一個元件能承受多余40000g的加速度(1g=地球引力的加速度)。

　　在單晶硅中沒有塑料變形和磁滯現象，它要么被制作成功或者完全被破壞。懸臂式的雙電容傳感元件設有超負荷保護，它能夠測量兩個方向的加速度。

　　傾角傳感器的核心部分是微機械加速度傳感器元件的對稱電容塊，它由三片相互被薄玻璃膜隔離的硅片組成。中間硅片是懸臂多射線式結構，在它上面的大的質量塊，電容和彈性系數能獨立的得到最佳結果。這正是在低g值量程內取得很好測量結果的原因。作用在硅片上的重力和加速的力量使單晶硅電射束振蕩彎曲，這種偏差能被兩金屬膜為電極的電容之間的距離變化而測量出來。微機械片能使相對大的電容和電容變化容易的被檢測出來。

　　雙電容結構和它的對稱性同時改進了零點的穩定性。發生在它們之中一個電容中的任何變化會引起對面電容中的相似變化而得到補償。另外對稱性能導致交叉軸誤差較大。在VTI加速傳感器的裝配中對稱性是由角度的準確度而確定的。不同的量程是由調節弦片的厚度來實現的。傳感器元件的濕度由密封洞穴中的壓力所決定的，此密封洞穴是由中間硅片，弦片和外層硅片構成。可以通過調整傳感器元件來滿足不同用途的需要，密封性是通過陽極與硅片牢固粘合而達到的。這樣也省去了額外包裝的需要，提高了產品質量的可靠性。

　　現在在各樓頂上隨處可見太陽能熱水器，隨著不可再生資料的極度消耗，太陽能已經成為各能源公司考慮的首要對象，如何更好、更充分的利用太陽能成為了當今太陽開發需要考慮的一大問題。傳感器在這個方面的應用功不可沒，大家都知道太陽是運動的，早上從東邊升起，傍晚從西邊落下，要想充分的利用太陽能，就得時時的調節接受太陽能的太陽電池的角度來最大面積的接收太陽能。而實現這個功能就必須要用到傾角傳感器。 

　　傾角傳感器可以用來測量相對于水平面的傾角變化量。理論基礎就是牛頓第二定律，根據基本的物理原理，在一個系統內部，速度是無法測量的，但卻可以測量其加速度。如果初速度已知，就可以通過積分計算出線速度，進而可以計算出直線　位移。所以它其實是運用慣性原理的一種加速度傳感器。當傾角傳感器靜止時也就是側面和垂直方向沒有加速度作用，那么作用在它上面的只有重力加速度。重力垂直軸與加速度傳感器靈敏軸之間的夾角就是傾斜角了。通過這些理論，將它利用到太陽能上面，利用傾角傳感器來調節太陽能電池的角度來使其最大面積的接收到太陽能。從而實現太陽能利用率的進一步提高。

　　太陽能是潔凈的能源，它的應用正在得到普及。但是現有的太陽能的利用率還不是很高，未來必定用應用與各行各業，比如汽車、飛機等上面。伴隨著這些應用，傾角傳感器也將得到更加充分的利用，它的性能也將會得到很好的提升，傾角傳感器將會利用自己的性能在自己的崗位上為能源缺口做出一份貢獻。