地震檢波器是一種將機械振動轉換為電信號的地震勘探專用振動傳感器，是槽波地震勘探儀器中接收地震信號的個器件，它的性能會影響地震勘探結果。煤礦井下地震信號的信噪比較低、波形場復雜、地震勘探條件復雜，因此研制針對于槽波地震勘探的檢波器非常重要。
　　實際勘探中應用為廣泛的地震檢波器為動圈式地震檢波器。隨著技術和方法的不斷創新，檢波器類型越來越豐富。我國開展了許多針對地震檢波器的應用研究和試驗工作，研究了三分量MEMS地震檢波器、光學地震檢波器、壓電式地震檢波器、電化學地震檢波器等新型檢波器。
　　1、動圈式地震檢波器
　　根據資料顯示，大部分槽波勘探都是使用動圈式地震檢波器，它屬于速度型地震檢波器。在使用動圈式地震檢波器進行槽波地震探測時，經常檢測到一種頻率為400Hz的形似自激振蕩或感應干擾的現象。經研究發現，它是由于兩分量速度檢波器中檢波器芯體的高頻諧振引起，術語稱之為檢波器二次諧振。速度檢波器的二次諧振屬于機械諧振范疇，二次諧振現象在各種型號的動圈式地震檢波器產品上都存在。對于精度要求較高的槽波地震勘探而言，這種高頻諧振就變得十分有害而不容忽視。對于檢波器的二次諧振現象，可以改用加速度檢波器芯體，這樣可以從根本上解決這個問題。
　　2、光學地震檢波器
　　光學地震檢波器主要是利用光波敏感元件的特性研制的，根據傳感機理的不同可以分為強度調制型、光纖光柵型、馬赫–曾德爾干涉型、邁克爾遜干涉型、薩格納克干涉型、法布里珀羅干涉型、光纖激光型以及光柵型等，各種類型的光纖地震檢波器研究取得了不少實驗室及實際應用成果。光學檢波器具有靈敏度高、安全可靠、頻帶寬、動態范圍大、適應性強等優點。光學檢波器有較強的抗電磁干擾能力，是未來地震檢波器有可能采用的主要技術之一。但光學檢波器制作工藝難度大、成本高，目前廣泛應用于井下槽波地震勘探尚有難度。
　　3、電化學地震檢波器
　　電化學地震檢波器是利用電化學原理，將振動信號轉換為電信號的檢波器。近年來，通過技術改進已經成功研制了實用的電化學地震檢波器，并實現了產品化。如俄羅斯莫斯科物理工藝研究所研制的電化學地震檢波器，能夠檢測振動頻率響應范圍為0.005~100Hz。中國科學院電子學研究所研制的MECSS1-I與MECSS3-I型電化學檢波器頻率響應范圍為1~70Hz，靈敏度達到100V/(m·s-1)。電化學地震檢波器與其他類型檢波器相比功耗非常小，頻率響應范圍較小，且成本較高。比較適用于頻帶要求窄、精度要求高的地震勘探。
　　4、電容式地震檢波器
　　電容式地震檢波器是根據兩極板之間的距離、相互覆蓋的面積、介電系數變化引起電容改變來設計的。與單電容地震檢波器相比，差動電容地震檢波器的靈敏度提高了一倍，相對非線性誤差大大減小。由于模擬差動電容式檢波器輸出信號易受電磁信號干擾，已經逐漸被數字式差動電容檢波器取代。MEMS數字檢波器其中核心部件就是差動電容式地震檢波器。
　　5、MEMS地震檢波器
　　MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)檢波器是目前性能較好的三分量數字地震檢波器，是以硅材料為基底，采用MEMS技術，即微電子機械系統技術加工的差動電容式地震檢波器。21世紀初國外推出的VectorSeis系列和DSU系列數字地震檢波器都是基于MEMS技術設計的微電子機械數字傳感系統。MEMS地震檢波器結構精巧，靈敏度比動圈式地震檢波器高，動態范圍較大，同時實現了檢波器的數字化，抗干擾能力強。該類型地震檢波器在實驗室研制的性能效果較好，但是加工工藝為先進的MEMS技術，成本較高，在地震勘探過程中通常會使用幾十甚至幾百個檢波器，因此將該類型檢波器投入大型地震勘探生產實踐還有一定的難度。

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