ICP質譜儀重要的應用是分離同位素并測定它們的原子質量及相對豐度。測定原子質量的精度超過化學測量方法，大約2/3以上的原子的質量是用質譜方法測定的。由于質量和能量的當量關系，由此可得到有關核結構與核結合能的知識。對于可通過礦石中提取的放射性衰變產物元素的分析測量，可確定礦石的地質年代。

　　質譜方法還可用于有機化學分析，特別是微量雜質分析，測量分子的分子量，為確定化合物的分子式和分子結構提供可靠的依據。由于化合物有著像指紋一樣的獨特質譜，ICP質譜儀在工業生產中也得到廣泛應用。

　　ICP質譜儀的原理：

　　1.利用聚焦的一次離子束在樣品表面上進行穩定的轟擊，一次離子可能受到樣品表面的背散射，也有部分進入樣品表面，這部分離子把能量傳遞給晶格，當入射能量大于晶格對原子的束縛能是，部分原子脫離晶格向表面運動，并且產生原子間的級聯碰撞，當這一能量傳遞到表面，并且大于表面的束縛能時，促使表面原子脫離樣品，謂之濺射；

　　2.一次離子引發的濺射大部分為中性原子或分子，也有少量荷電集團，包括帶電離子、分子、原子團，按照荷質比經過質譜分離；

　　3.收集經過質譜分子的二次離子，可以得知樣品表面和體內的元素組成和分布。

　　ICP質譜儀的基本組成：

　　ICP質譜儀的基本組成包括進樣系統、離子源、質量分析器、檢測器、真空系統和計算機控制與數據處理系統等。

　　1、進樣系統：將樣品送進離子源。

　　2、離子源：將樣品電離，得到帶有樣品信息的離子。

　　3、質量分析器：將離子源產生的離子按m/z大小分離開。

　　4、檢測器：用以測量和記錄離子流強度，得出質譜圖。

　　5、真空系統：保證離子源中燈絲的正常工作，保證離子在離子源和質量分析器中正常運行。

　　6、計算機控制與數據處理系統：通過計算機對質譜儀進行控制，通過軟件對質譜數據進行處理。