光柵是一種新型的位移檢測元件，有圓光柵和直線光柵兩種。它的特點是測量精確高（可達(dá)±1um）、響應(yīng)速度快和量程范圍大（一般為1—2m，連接使用可達(dá)到10m）等。

    光柵由標(biāo)尺光柵和指示光柵組成，兩者的光刻密度相同，但體長相差很多，其結(jié)構(gòu)如圖1所示。

    光柵條紋密度一般為每毫米25，50，100，250條等。把指示光柵平行地放在標(biāo)尺光柵上面，并且使它們的刻線相互傾斜一個很小的角度　表示光柵條紋間的夾角，則有

圖3　光柵測量系統(tǒng)

   光柵是一種新型的位移檢測元件，有圓光柵和直線光柵兩種。它的特點是測量精確高（可達(dá)±1um）、響應(yīng)速度快和量程范圍大（一般為1—2m，連接使用可達(dá)到10m）等。

    光柵由標(biāo)尺光柵和指示光柵組成，兩者的光刻密度相同，但體長相差很多，其結(jié)構(gòu)如圖1所示。

    光柵條紋密度一般為每毫米25，50，100，250條等。把指示光柵平行地放在標(biāo)尺光柵上面，并且使它們的刻線相互傾斜一個很小的角度　表示光柵條紋間的夾角，則有

圖3　光柵測量系統(tǒng)