無油真空泵的工作介質為催化尾氣經裝置提取濃縮后的產品氣，其主要成分為乙烯、乙烷，此介質為重要的化工原料。因為氣體純度不高，且含有腐蝕性介質，造成無油螺桿真空泵振動異常、故障頻發。

    真空泵的故障處理

    真空泵啟動困難

    電源有故障 檢查是否斷電，或者電源缺相

    異物入泵,葉輪卡死 用水沖洗，或者開泵檢查

    填料壓得過緊 松開調料壓蓋螺栓，啟動泵后，慢慢擰緊壓蓋螺栓，至有點水外流為止

    水垢或者鐵銹 用10%草酸浸泡30-—60分鐘

    工作液過多 調整工作液，高度至泵的軸心線

    電機跳閘或者過載

    繞組短路 檢查電機繞組

    工作液量過大 調節工作液入口閥門，降低工作液流量

    排氣壓力過高 降低排氣壓力至規定范圍

    吸入氣體中液體含量過多 在入中處加裝分離器，或者降低工作液量

    沒有真空

    電機轉向錯誤 更換兩根導線

    無工作液進入泵內 檢查工作液

    系統嚴重漏氣 打壓檢漏，并修復

    進氣閥門沒開 打開進氣閥

    真空度低

    工作液流量小 增加工作液流量，同時觀察電機電流不能過載

    工作液溫度過高 降低工作液溫度

    系統輕度泄露 更換密封(若填料密封，緊固壓蓋螺栓)

    真空表不準 更換真空表

    排氣閥脫落 更換排氣閥

    泵的選型小 更換大的泵

    當地大氣壓低 考核壓力

    葉輪腐蝕或汽蝕 更換葉輪

    振動/噪音大

    氣蝕嚴重 加氣蝕保護裝置

    工作液量過大 降低流量，方法，加裝孔板或者流量計

    連軸器對中不好 重新校連軸器的同心度，使其符合國家標準或者行業標準。

    底腳螺栓沒固定好 緊固死底腳螺栓

    葉輪不平衡 重新對葉輪作平衡

    小型真空泵指的就是微型真空泵，因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。

    微型真空泵（即小型真空泵)是指：具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。

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