真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
　　真空泵使用要點
　　1.真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學品、溶劑及粉末等。如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
　　2.進氣溫度必須低于50℃，否則在被抽真空室與泵進氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。
　　3.抽含有水蒸汽的氣體時，要打開氣鎮閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會縮短氣鎮閥壽命。
　　4.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環境中工作，否則會有爆炸、火災等危險。
　　5.不要由一兩個人移動此泵。此由人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護和檢查，否則會有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。
　　6.不要繼續使用已經損壞的泵，否則會有受傷、觸電甚至被抽系統損壞等危險。
　　7.檢查確定此泵安全接地。
　　8.此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱，可能達到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護措施防止受傷。
　　9.必須安裝電機保護開關。
　　10.不要刮碰進氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導致真空度上不去。
　　11.在進氣口處裝截止閥。真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度，要在真空室與泵之間安裝截止閥。
　　12.排氣口處要接排氣管，以防灰塵進入泵內。

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