熱式質量流量計用于直接測量氣體的質量流量，并且不需要溫壓補償，具有高精度和長期穩定性的特點，可用于壓縮空氣的計量，過程行業的氣體流量測量，或者污水處理廠等的生物沼氣測量。
    熱式質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳 感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個 RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫 度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應 介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感 元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。