歷來,對(duì)容積式真空泵(如旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵等)的極限真空度測(cè)試都是采用傳統(tǒng)的壓縮式真空計(jì)(即麥克勞真空計(jì))。

    在我國(guó)現(xiàn)行有關(guān)對(duì)容積式真空泵性能的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)(機(jī)械工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)JB/T7266294)中也明確地規(guī)定了這一點(diǎn)。

    眾所周知,壓縮式真空計(jì)的誕生至今已有120年的歷史；

    由于它是一種頗為有效的、直觀且價(jià)廉的優(yōu)良式真空度測(cè)量?jī)x表,所以一直使用到現(xiàn)在。

    然而,它也存在著一個(gè)致命的弱點(diǎn),其使用的工作介質(zhì)為汞。

    汞對(duì)于人類健康來說是一種有害有毒物質(zhì)。

    壓縮式真空計(jì)又是玻璃制品,操作人員稍有不慎,極易破碎,汞的外溢給人和環(huán)境帶來嚴(yán)重的公害。

    因此,世界上發(fā)達(dá)國(guó)家早已撇棄用壓縮式真空計(jì)來作工作用真空計(jì)。

    隨著我國(guó)整個(gè)工業(yè)水平的提高,人民物質(zhì)生活的富裕,環(huán)境保護(hù)意識(shí)的強(qiáng)化；

    對(duì)于壓縮式真空計(jì)使用的危害性也成為廣大用戶所認(rèn)識(shí),對(duì)于撇棄工作用壓縮式真空計(jì)的呼聲也日益高漲。

    作為真空科技工作者,研制一種新穎的能完全替代壓縮式真空度的測(cè)試儀器是義不容辭的職責(zé),并具有十分明顯的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益。

    裝置原理

    對(duì)于容積真空泵性能檢測(cè)用的壓縮式真空計(jì),一般而言；

    其量程在100～10-2Pa范圍,精度要求在±10%已足夠。

    欲替代壓縮式真空計(jì)一定要滿足這一必要條件。

    除此之外,按照現(xiàn)行部標(biāo)準(zhǔn)JB/T7266294的要求,用作容積真空泵性能檢測(cè)用的壓縮式真空計(jì)；

    由于測(cè)量的是長(zhǎng)久性氣體分壓強(qiáng),因此又要求滿足測(cè)試長(zhǎng)久性氣體分壓強(qiáng)的特定條件。

    鑒于上述兩個(gè)要求,我們認(rèn)為選擇薄膜真空計(jì)加冷阱的組合裝置不僅是適宜的,而且也是可取的。