發布日期：2022-10-09 點擊率：77
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1、MEMS GAS SENSOR,COMPOSITION OF GAS SENSOR,CONTENTS,1、Introduction and Application 2、The classification and the principle of sensor 3、Processing and manufacturing sensor,INTRODUCTION AND APPLICATION,Gas detection in peoples production life applications is very extensive, especially in the aspects of
2、safety in production, such as, mine operation, gas production and transportation. Gas sensor is directly related to peoples life and property safety.,INTRODUCTION AND APPLICATION,Microelectromechanical systems (MEMS) technology is the micro device manufacturing method based on the development of mic
3、roelectronic technology, first in the accelerometer (加速度計), a pressure pickup (壓力傳感器) field. With the increase of film technology with Thin film technology (薄膜技術) development, in recent years the MEMS sensors have been widely concerned in the chemical gas detection.,INTRODUCTION AND APPLICATION,The
4、following are some of the gas sensor：,INTRODUCTION AND APPLICATION,MEMS gas sensor is compared with the traditional detection method, has the advantages of small size, high sensitivity, fast response, easy to integrate and many other advantages, is one of the main direction of the future development
5、 of gas sensors.,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,According to different detection theory can be divided into: 1、 based on the gas self photoacoustic spectroscopy and optical properties of MEMS gas sensor 2、Gas sensors sensitive materials based on adsorption principle 3、Gas sensor for
6、inflammable and explosive gas catalytic combustion 4、 Field Asymmetric Ion Mobility Spectrometry technology of gas sensor,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,1、 based on the gas self photoacoustic spectroscopy and optical properties of MEMS gas sensor：,Photoacoustic gas sensor consists of
7、 a modulated light source , photoacoustic cell , high sensitive microphone 3 main part of the system .,The principle of process：,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,1) light gas specific modulation frequency, the gas molecule in its excited state;,2) by gas molecules induced by impact way
8、 to release the absorbed energy;,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,The principle of process：,3) the heat effect generated gas collisions, gas heating expansion heat wave, its frequency and the same frequency modulation light;,4) high sensitive microphone sampling of the heat wave;,2、Gas
9、 sensors sensitive materials based on adsorption principle:,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,Surface acoustic wave (SAW) gas sensor is Bryant et al in 1981 for the first time put forward the SAW for gas sensitive research, and design the SAW gas sensor model of gas sensitive layer adso
10、rption. With the development of MEMS technology, the SAW gas sensor has been miniaturized, sensitivity, selectivity and other performance parameters have been improved.,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,The principle of process：,1) SAW generator vibration, the receiver receives the vibr
11、ation signal, and the phase sensitive detection circuit detection and accept the shock wave phase difference;,2) gas molecules attached to the film made of sensitive materials, conducting properties of materials change, phase two wave difference change.,The phase sensitive detection circuit,The prin
12、ciple of catalytic combustion type gas sensor from the gas sensor for methane, macro, CO and other inflammable and explosive gas detection.,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,3、 Gas sensor for inflammable and explosive gas catalytic combustion:,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SEN
13、SOR,The principle of process：,When there are flammable and explosive gases in the air, gas molecules in the catalytic oxidation reaction catalyst surface, and emit heat. The thermistor temperature change can be converted to electrical signals, and the reference film compared to get gas volume fracti
14、on changes.,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,4、 Field Asymmetric Ion Mobility Spectrometry technology of gas sensor,FAIMS technology is the technology of ion mobility spectrometry (IMS) based on the development of, gas sensor FAIMS technology can be used in many fields, such as atmosph
15、eric toxic gas detection based on, and has the feature of small volume accuracy.,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,The principle of process：,1) carrier gas mixed with the sample ionization after ion gate to the ion drift region,2) at high (greater than 11 000V / cm) under the effect of
16、alternating electric field, the migration velocity of different ions for nonlinear (nonlinear) changes, relevant, this change and ion characteristics therefore, ion high electric field can differentiate between low field mobility similar.,Alternating electric field to add a DC bias voltage, high ele
17、ctric field transfer effects offset detecting gas ions.,THE CLASSIFICATION AND THE PRINCIPLE OF SENSOR,The principle of process：,3) in the sample testing process to the DC bias voltage is analyzed in the sample gas composition of scanning.,PROCESSING AND MANUFACTURING SENSOR,In the processing of SAW
18、 gas sensor as an example,1) micromachined tuning fork,Processing method of machining micro fork is similar to the wishbone MEMS acceleration sensor, can adopt lithographic manner through the processing.,PROCESSING AND MANUFACTURING SENSOR,In the processing of SAW gas sensor as an example,2) thin films,Preparation of thin film by deposition will sensitive material ionized deposition on the substrate.,In the processing of SAW gas sensor as an example,PROCESSING AND MANUFACTURING SENSOR,3) package,In general, encapsulation of SAW gas sensor with MEMS device common.,THANK YOU!,
氣體傳感器及其應用 一、氣敏傳感器概述 二、半導體氣體傳感器 三、常見氣體傳感器及其應用 自動控制排氣扇和聲光報警電路的設計 具有自動控制排氣扇和聲光報警功能的報警電路，設計時可根據情況分別對待，有害氣體濃度達到0.15%時，排氣扇首先自動開啟，使有害氣體排出，且發光二極管LED2發光?？諝鉂崈艉?，排氣扇自動關閉。只有當有害氣體泄漏嚴重，排氣無效，濃度達到0.2%時，報警電路才發出聲光報警。 *長江工程職業技術學院自動化教研室 *長江工程職業技術學院自動化教研室 課題 氣體傳感器的分類及特性 任務目標 ★ 熟悉氣體傳感器的主要特性； ★ 會分析常見的氣體傳感器應用電路； ★ 能夠完成帶有自動控制排氣扇和報警功能的電路設計和調試。 我們生活在氣體的環境之中，氣體與我們的日常生活密切相關。我們對氣體的感知是用鼻子這個器官，而氣敏傳感器其作用就相當于我們的鼻子，可“嗅”出空氣中某種特定的氣體或判斷特定氣體的濃度，從而實現對氣體成分的檢測和監測，以改善人們的生活水平，保障人們的生命安全。 需要檢測的氣體種類繁多，它們的性質也各不相同，所以不可能用一種方法來檢測所有氣體。對氣體的分析方法也隨氣體的種類、成分、濃度和用途而異。目前主要應用的氣體檢測方法有電氣法、電化學法和光學法等。 電氣法是利用氣敏器件（主要是半導體氣敏器件）檢測氣體，是目前應用最為廣泛的氣體檢測方法。 電化學法是利用電化學方法，使用電極與電解液對氣體進行檢測。 光學法是利用氣體的光學折射率或光吸收等特性檢測氣體。 半導體氣體傳感器主要是以氧化物半導體為基本材料制成，當半導體氣敏元件同氣體接觸時，氣體吸附于元件表面，使得半導體的導電率發生變化，從而檢測待測氣體的成分及濃度。 半導體氣體傳感器大體上分為電阻式和非電阻式兩種。電阻式半導體氣體傳感器是用氧化錫、氧化鋅等金屬氧化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的變化來檢測氣體的濃度。非電阻式半導體氣體傳感器主要有金屬/半導體結型二極管和金屬柵的MOS場效應管的傳感器，利用它們與氣體接觸后整流特性或閾值電壓的變化來實現對氣體的測量。在此只介紹電阻式氣體傳感器。 1．氣敏電阻的工作原理 氣敏電阻的材料是金屬氧化物如氧化錫、氧化鋅等，它們在常溫下是絕緣的，制成半導體后卻顯出氣敏特性。通常元件工作在空氣中，空氣中的氧、二氧化氮這樣的氧化性氣體——電子接收性氣體，接受來自半導體材料的電子，結果使N型半導體材料的載流子數量減少，使表面電導率減小，從而使元件處于高阻狀態。一旦元件與被測還原性氣體——電子供給性氣體（如H2、CO、碳氫化合物和酒類）接觸，半導體的載流子增多，使元件電阻減小。 該類氣敏元件通常工作在高溫狀態（200~450℃），目的是為了加速上述的氧化還原反應。例如，用氧化錫制成的氣敏元件，在常溫下吸附某種氣體后，其電導率變化不大，若保持這種氣體濃度不變，該元件的電導率隨元件本身溫度的升高而增加，尤其在100~300℃范圍內電導率變化很大，顯然半導體電導率的增加是由于多數載流子濃度增加的結果。 由上可知，氣敏電阻工作時需要本身的溫度比環境溫度高很多。因此，氣敏電阻結構上有電阻絲加熱器。 氣敏電阻的基本測量電路 ： 圖5-1 氣敏元件的測量電路及氣敏元件輸出電壓與溫度的關系 2．氧化錫氣敏器件 SnO2是一種白色粉末狀的金屬氧化物，其多結晶體材料具有氣敏特性。SnO2氣敏器件當前主要有三種類型：燒結型、薄膜型和厚膜型。 （1）燒結型SnO2氣敏器件 這種器件是以多孔質陶瓷SnO2為基本材料，添加不同物質，采用傳統制陶工藝進行燒結。燒結時在材料中埋入加熱電阻絲和測量電極，制成管芯，然后將加熱電阻絲和測量電極引線焊在管座上，并將管芯罩覆在不銹鋼網中而制成器件。這種器件主要用于檢測還原性氣體、可燃性氣體和液體蒸汽。器件工作時需加熱至300℃左右，按其加熱方式不同，又分為直熱式和旁熱式兩種氣敏器件。 ① 直熱式SnO2氣敏器件：直熱式器件的結構如圖5-2所示。器件管芯由三部分組成：SnO2基本材料、加熱電阻絲和電極絲。加熱電阻絲和電極絲直接埋在SnO2材料內，然后燒結制成。工作時加熱電阻絲通電加熱，使器件達到工作溫度，測量電極絲用于器件電阻值變化的測量。 圖5-2 直熱式氣敏器件結構與符號 這種器件的優點是：制造工藝簡單、功耗小、成本低，可在高壓回路中使用，可制成價格低廉的可燃氣體報警器。 這種器件的缺點是：熱容量小，易受環境氣流的影響，測量回路和加熱回路之間沒有隔離，互相影響。 ② 旁熱式SnO2氣敏器件：旁熱式氣敏器件如圖5-3所示。其管芯增加了一個陶瓷管，在管內放進一個高阻加熱絲，管外涂梳狀金電極作測量極，在金電極外涂SnO2材料。 圖5-3 QM—N5外形和符號 這種結構克服了直熱式器件的缺
2022深圳國際消費電子展覽會
新物聯號：tanghaotian 2021-11-17 共有: 52 瀏覽
中國（深圳）國際消費電子展覽會簡稱“SCE2022”，致力于為中國消費電子生產企業、代加工商、代理商、國內國際采購商、零配件商、相關產業服務供應商等打造全面、集中的一站式采購交易合作平臺，匯聚了全球最頂級的產品體驗場景、貿易商洽機會、技術戰略交流環境、品牌傳播聲量、多維度用戶人群、跨界交流平臺、資本市場關注，是提升產業社會關注度和影響力，為參展品牌和合作伙伴全面賦能的重要平臺。
2022深圳國際智能安防展覽會-安博會
新物聯號：勵智展覽 2021-11-17 共有: 39 瀏覽
2022 深圳 國際智能安防展覽會簡稱“ISE 2022”。伴隨著智能安防行業的快速發展，已被越來越多的企業列入每年必選展會，也成為各采購商選購的理想平臺。在市政府大力發展智能安防行業的利好政策下，2022 深圳 國際智能安防展以“智慧AI，賦能安防”為主題，聚焦5G+AIoT、云計算、大數據、物聯網+、邊緣計算等，重點展示公共安全、視頻監控、智能門禁、智慧社區、智慧消防、智慧應急、智慧警務、智能
Nordic Semiconductor SoC為最復雜的物聯網應用推出高級安全功能
新聞來源：新物聯Newiot 整理 2021-11-17 共有: 237 瀏覽
Nordic Semiconductor 于 1983 年在挪威成立，是一家無晶圓廠半導體公司，專門從事短程和長程無線通信技術以及為物聯網 (IoT) 提供動力的軟件協議。其低功耗藍牙 (BLE) 解決方案開創了超低功耗無線連接的先河，使公司成為無線技術的全球領導者。Nordic Semiconductor 基于 Arm Cortex-M33 的 nRF5340 高端多協議 SoC 獲得了亞洲 E
2022第十屆國際智能家居展覽會（深圳站）
新物聯號：勵納展覽 2021-11-17 共有: 31 瀏覽
中國（深圳）第十屆國際智能家居展覽會簡稱“C-SMART2022”，作為智能家居行業的經貿盛會，集結了一大批國內外的全屋智能家居、智能安防、智慧社區、智能衛浴、智能遮陽、智慧酒店、智能照明、智能建筑、智慧辦公、智能家電、云平臺、智能影院、5G+AIOT等行業的著名企業，展示內容緊扣行業發展脈搏，是第一時間洞悉行業發展趨勢，對話行業主管部門、拓展亞太市場的重要平臺。
2022第九屆深圳國際物聯網展覽會
新物聯號：勵納展覽 2021-11-17 共有: 49 瀏覽
歡迎參加2022第九屆深圳國際物聯網展覽會, 本屆展會是覆蓋物聯網完整產業鏈的一個專業盛會，包括有：RFID（無線射頻識別）技術、傳感網技術、工業物聯網技術、自動識別技術、無線通訊技術、最新移動支付技術、電子標簽生產解決方案、讀寫器開發最新技術及物聯網技術在：智能交通、智能電網、智慧城市、智慧工業、智慧醫療、智慧停車、智能三表、智能家居、工業4.0、新零售、倉儲、物流、節能環保、石油、天然氣、智慧
2022第九屆深圳國際人工智能展覽會
新物聯號：勵納展覽 2021-11-17 共有: 37 瀏覽
2021第九屆深圳國際人工智能展覽會簡稱“AIE ”伴隨著人工智能行業的快速發展，已被越來越多的企業列入每年必選展會，也成為各采購商選購的理想平臺。在深圳大力發展智能行業的利好政策下，2021深圳國際人工智能展以“人工智能，未來已來”為主題，進一步突出專業性、國際化特色，采取展覽、論壇、推介會等多種形式促進產業的合作、發展與共贏。我們誠摯邀請您積極參與本次展會盛宴，相聚羊城、共同分享深圳人工智能展
商米SUNMI V系列全新升級,打造數字化好拍檔
新聞來源：商米 2021-11-17 共有: 250 瀏覽
11月17日,商米V系列經典再升級,全新V2s PLUS和V2s兩款產品發布,功能、性能大幅度提升的同時,產品自身的防護更強,應用場景也更加多元。
人工智能、機器學習創新者Rambus推出新突破
新聞來源：新物聯Newiot 整理 2021-11-18 共有: 197 瀏覽
隨著人工智能 (AI) 和機器學習的不斷進步，英偉達( NVDA ) 和高級微設備( AMD ) 行業合作伙伴 Rambus ( RMBS ) 繼續為計算、游戲和圖形行業解決內存和處理之間的瓶頸。
Grammarly以130億美元的估值籌集了2億美元，讓您成為使用AI的更好作家
新聞來源：新物聯Newiot 整理 2021-11-18 共有: 197 瀏覽
Grammarly是一種流行的寫作自動編輯工具，已經以 130 億美元的估值從包括 Baillie Gifford 和貝萊德管理的基金和賬戶在內的新投資者那里籌集了 2 億美元的資金。公司計劃利用這筆投資加速產品創新和團隊成長。
工業4.0時代下的自連邊緣計算解決方案
新物聯號：自連科技 2021-11-19 共有: 143 瀏覽
自連科技特別定制工業互聯方案，利用工業物聯網的技術幫助企業實現工業智能化。隨著工業信息化的逐漸深入以及智能化物聯網技術的發展，工業行業通過物聯網技術追求提升效率，保障安全又可以控制成本的智能化升級方案是工業4.0智能時代下應運而生的需求。因此，制定行之有效的升級部署方案，需從數據采集、連接、傳輸、處理應用來系統性解決監測、控制操作等問題，從而實現由點到面的全局管理。
深圳2022中國元宇宙展覽會
新物聯號：元宇宙 2021-11-19 共有: 18 瀏覽
2021年，元宇宙迎來爆發，各路資本也紛紛下場，圍繞元宇宙正形成 一個龐大的產業鏈，也被投資界認為是宏大且有巨大商業價值的投資 領域。2021年也被稱為是「元宇宙」元年。 如何在風起云涌的元宇宙浪潮中搶占先機。
2022中國（北京）國際半導體博覽會
新物聯號：昶文展覽 2021-11-19 共有: 15 瀏覽
“2022中國（北京）國際半導體博覽會”將于2022年6月27-29日在北京國家會議中心隆重舉辦，經過多年的發展，已成為國內外具有一定影響力的半導體業界盛會。涵蓋了半導體技術制造的各個方面，包括設備、設計、光刻、集成、材料、流程、制造以及新興半導體科技和硅材料應用等。除此之外，諾貝爾獎獲得者、各大公司高層代表以及業內專家們齊聚一堂，聚焦行業熱點話題，就LED、半導體材料以及微電子機械系統等進行探討
2022中國工業自動化展，2022東莞工業物聯網展覽會
新物聯號：展會宣傳張 2021-11-19 共有: 16 瀏覽
展會名稱：CMM工業自動化&工業裝配與傳輸技術展，同期展會：東莞國際芯片及半導體產業博覽會Chips&SemiconS。
CMM電子制造自動化&資源展
2022中國電子制造自動化設備展覽會
新物聯號：展會宣傳張 2021-11-19 共有: 28 瀏覽
展會名稱：CMM電子制造自動化&資源展，同期展會：東莞國際芯片及半導體產業博覽會Chips&SemiconS。CMM電子制造自動化&資源展全面展示智能制造生產過程中的自動化、制造環境、品管技術、工裝夾具、過程材料、智能倉儲、信息化技術等資源，以滿足電子工廠在智能制造轉型道路上的各類需求。
IIOTC工業物聯網&工業自動化展
2022東莞半導體芯片展|材料展|封裝測試|設備展
新物聯號：展會宣傳張 2021-11-19 共有: 38 瀏覽
展會名稱：東莞國際芯片及半導體產業博覽會，同期舉辦：CMM電子制造自動化&資源展、IIOTC工業物聯網&工業自動化展。
科技引領綠色發展，2021河北·中日節能環?？萍及l展高峰云論壇將于11月24日線上舉辦
新聞來源：2021河北中日節能環?？萍及l展高峰云論壇 2021-11-19 共有: 52 瀏覽
為落實黨和國家關于經濟結構升級、綠色轉型、可持續發展等戰略部署，進一步落實河北省產業轉型升級、構建京津冀生態環境共同體的戰略布局，“科技引領綠色發展，2021河北·中日節能環?？萍及l展高峰云論壇”將于11月24日在線上隆重召開。
2022北京第十五屆物聯網展覽會
新物聯號：靜文 2021-11-19 共有: 35 瀏覽
目前我國AIOTE智能物聯網行業經濟體量已達2萬億元，行業規模正在超預期增長，國內物聯網及相關企業超過3萬家，其中中小企業占比超過85%。AIOTE智能物聯網在各行各業的應用不斷深化，將催生大量的新技術、新產品、新應用、新模式。未來巨大的市場需求將為物聯網相關企業帶來難得的發展機遇和廣闊的發展空間。
區塊鏈錢包imtoken錢包簡介說明
新聞來源： 2021-11-21 共有: 75 瀏覽
在虛擬資產區塊鏈錢包里，IMtoken是非常出名的。這款區塊鏈錢包的安全性級別是非常高的，它設立了多重簽名可以有效防盜，還支持多種錢包類型，資產狀況一目了然，操作也非常簡單。imToken是一款區塊鏈數字資產管理工具，為用戶提供安全、可信賴的數字資產管理服務。
智慧停車反向尋車藍牙信標室內導航定位原理及系統功能
新物聯號：極光通信 2021-11-21 共有: 78 瀏覽
在覆蓋藍牙信標的區域，藍牙信標周期性地廣播IBeacon信號，手機接收到信號后，通過本地算法根據信號的強弱，生成手機所在位置的特征值，并根據特征值生成終端的位置信息。使用手機終端的用戶在不同位置接收到的藍牙信號的特征值不同，通過對比系統生成的特征值與接收到的特征值進行比對，從而判斷用戶所在的位置。
元宇宙概念meta由來及發展狀況
新聞來源：新物聯Newiot 整理 2021-11-21 共有: 102 瀏覽
最近，元宇宙概念由于Facebook加入，炒的更加火熱。元宇宙（metaverse）一詞，誕生于1992年的科幻小說《雪崩》，小說描繪了一個龐大的虛擬現實世界，在這里，人們用數字化身來控制，并相互競爭以提高自己的地位，到現在看來，描述的還是超前的未來世界。 元宇宙是在擴展現實（XR）、區塊鏈、云計算、數字孿生等新技術下的概念具化。
8.4.2 半導體氣體傳感器 由于空氣中的含氧量大體上是恒定的， 因此氧的吸附量也是恒定的，器件阻值也相對固定。 若氣體濃度發生變化，其阻值也將變化。根據這一特性，可以從阻值的變化得知吸附氣體的種類和濃度。 半導體氣敏時間(響應時間)一般不超過1min。 N型材料有SnO2、ZnO、TiO等，P型材料有MoO2、CrO3等。 1. 半導體氣敏元件的特性參數 （1）氣敏元件的電阻值 將電阻型氣敏元件在常溫下潔凈空氣中的電阻值，稱為氣敏元件(電阻型)的固有電阻值，表示為Ｒａ。 一般其固有電阻值在(103～105)Ω范圍。 測定電阻型氣敏元件的電阻值，必須在潔凈空氣中進行。 潔凈空氣的定義教材中8-6表給出詳細說明。 （2）氣敏元件的靈敏度 表征氣敏元件對于被測氣體的敏感程度的指標。 它表示氣體敏感元件的電參量（如電阻型氣敏元件的電阻值）與被測氣體濃度之間的依從關系。 表示方法有三種： （a）電阻比靈敏度K （b）氣體分離度? （c）輸出電壓比靈敏度KV （3）氣敏元件的分辨率 表示氣敏元件對被測氣體的識別（選擇）以及對干擾氣體的抑制能力。 氣敏元件分辨率S表示為: Va—氣敏元件在潔凈空氣中工作時，負載電阻上的輸出電壓； Vg—氣敏元件在規定濃度被測氣體中工作時，負載電阻上的電壓； Vgi—氣敏元件在i種氣體濃度為規定值中工作時,負載電阻的電壓； （4）氣敏元件的響應時間 表示在工作溫度下，氣敏元件對被測氣體的響應速度。 一般從氣敏元件與一定濃度的被測氣體接觸時開始計時，直到氣敏元件的阻值達到在此濃度下的穩定電阻值的63％時為止，所需時間稱為氣敏元件在此濃度下的被測氣體中的響應時間，通常用符號tr表示。 （5）氣敏元件的恢復時間 表示在工作溫度下，被測氣體由該元件上解吸的速度，一般從氣敏元件脫離被測氣體時開始計時，直到其阻值恢復到在潔凈空氣中阻值的63％時所需時間。 （6）初期穩定時間 長期在非工作狀態下存放的氣敏元件，因表面吸附空氣中的水分或者其他氣體，導致其表面狀態的變化，在加上電負荷后，隨著元件溫度的升高，發生解吸現象。 因此，使氣敏元件恢復正常工作狀態，需要一定的時間，稱為氣敏元件的初期穩定時間。 （7）氣敏元件的加熱電阻和加熱功率 氣敏元件一般工作在200℃以上高溫。 為氣敏元件提供必要工作溫度的加熱電路的電阻(指加熱器的電阻值)稱為加熱電阻，用RH表示。 直熱式的加熱電阻值一般小于5Ω； 旁熱式的加熱電阻大于20Ω。 氣敏元件正常工作所需的加熱電路功率，稱為加熱功率，用PH表示。一般在(0.5～2.0)W范圍。 2. 燒結型SnO2氣敏元件 SnO2系列氣敏元件有燒結型、薄膜型和厚膜型三種。 燒結型應用最廣泛性。 根據加熱方式分為： 直接加熱式 旁熱式 2. 燒結型SnO2氣敏元件 圖5 氣敏半導體傳感器的器件結構 (a) 燒結型氣敏器件； (b) 薄膜型器件； (c) 厚膜型器件 2. 燒結型SnO2氣敏元件 圖5 氣敏半導體傳感器的器件結構 (a) 燒結型氣敏器件； (b) 薄膜型器件； (c) 厚膜型器件 2. 燒結型SnO2氣敏元件 圖5(a)為燒結型氣敏器件。 這類器件以SnO2半導體材料為基體，將鉑電極和加熱絲埋入SnO2材料中，用加熱、加壓、溫度為700~900℃的制陶工藝燒結成形。因此，被稱為半導體陶瓷，簡稱半導瓷。 半導瓷內的晶粒直徑為1μm左右，晶粒的大小對電阻有一定影響，但對氣體檢測靈敏度則無很大的影響。 燒結型器件制作方法簡單，器件壽命長；但由于燒結不充分，器件機械強度不高，電極材料較貴重，電性能一致性較差，因此應用受到一定限制。 2. 燒結型SnO2氣敏元件 圖5(b)為薄膜型器件。 它采用蒸發或濺射工藝，在石英基片上形成氧化物半導體薄膜（其厚度約在100nm以下），制作方法也很簡單。 實驗證明，SnO2半導體薄膜的氣敏特性最好， 但這種半導體薄膜為物理性附著，因此器件間性能差異較大。 2. 燒結型SnO2氣敏元件 圖5(c)為厚膜型器件。 這種器件是將氧化物半導體材料與硅凝膠混合制成能印刷的厚膜膠，再把厚膜膠印刷到裝有電極的絕緣基片上，經燒結制成的。 由于這種工藝制成的元件機械強度高，離散度小，適合大批量生產。 2. 燒結型SnO2氣敏元件 這些器件全部附有加熱器，它的作用是將附著在敏感元件表面上的塵埃、油霧等燒掉，加速氣體的吸附，從而提高器件的靈敏度和響應速度。 加熱器的溫度一般控制在200~400℃左右。 由于加熱方式一般有直熱式和旁熱式兩種，因而形成了直熱式和旁熱式氣敏元件。 2. 燒結型SnO2氣敏元件 直熱式氣敏器件的結構及符號如圖6所示。 直熱式器件是將加熱絲、測量絲直接埋入SnO2或ZnO等粉末中燒結而成的，工作時加熱絲通電，測量絲用
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