二次離子質(zhì)譜（sims）和濺射中性粒子質(zhì)譜（snms）是表面分析科學和材料科學中廣泛應用的分析技術(shù)。使用離子濺射固體表面能夠引起光子、電子、中性粒子和二次離子的發(fā)射。sims技術(shù)探測濺射產(chǎn)生二次離子，snms技術(shù)探測濺射產(chǎn)生中性粒子。由于二次離子的產(chǎn)率和基體相關(guān)，sims技術(shù)具有顯著的基體效應，需要標準樣品進行分析校正。中性粒子是濺射產(chǎn)物的主要組成部分，snms將中性粒子后離子化進行質(zhì)譜分析，定量更加可靠。ims1280型sims通常使用o2-分析金屬元素，使用cs 分析非金屬元素，很難同時對金屬元素和非金屬元素進行分析。

　　中國科學院地質(zhì)與地球物理研究所工程師唐國強等人在以上背景下，發(fā)明了一種使用二次離子質(zhì)譜儀同時分析非金屬元素和金屬元素的系統(tǒng)和方法，并于近日獲得國家發(fā)明專利授權(quán)（發(fā)明名稱：使用二次離子質(zhì)譜儀同時分析非金屬元素和金屬元素的系統(tǒng)和方法；發(fā)明人：唐國強，趙洪；專利號：zl20131*******.7）。

　　該發(fā)明使用sims分析二次離子，用snms對中性粒子分析，可以在線獲得樣品中更多的信息，保留了微區(qū)分析的特點，沒有基體效應。其特點有：分隔的真空腔體有利于濺射中性粒子的收集和離子化；中性粒子的離子化可以使用電子轟擊、熱電離、激光共振等成熟的離子化技術(shù)；質(zhì)量分析器可以使用小型的四極桿或者飛行時間質(zhì)量分析器，基于電場的獨立小型質(zhì)量分析器有利于減小儀器體積和縮短分析時間。

　　該發(fā)明將sims和snms兩種技術(shù)結(jié)合起來應用在ims1280型sims上，能夠同時分析樣品中的金屬元素和非金屬元素，具有很大的進步意義。