提高步進伺服系統精度的措施有以下幾點：

　　1.傳動間隙補償

　　提高機床傳動元件的齒輪、絲杠制造裝配精度并采取消除傳動間隙的措施，只能減少卻不能完全消除傳動間隙。

　　機械傳動鏈在改變運動或旋轉方向時，最初若干個指令脈沖只能起到消除間隙的作用，造成步進電機的空走，而工作臺無實際移動，從而產生傳動誤差。

　　補償方法：先測出并存儲間隙大小，接收反向位移指令時，先不向步進電機輸出反向位移脈沖，而將間隙值轉換為脈沖數N，驅動步進電機轉動，越過傳動間隙，然后按照指令脈沖動作。

　　2. 螺距誤差補償

　　傳動鏈中滾珠絲杠螺距的制造誤差直接影響機床工作臺的位移精度。

　　補償方法：設置若干個補償點，在每個補償點測量并記錄工作臺位移誤差，確定補償值并作為控制參數輸送給數控裝置。

　　設備運行時，工作臺每經過一個補償點，CNC系統就加入補償量，補償螺距誤差。

　　3. 細分線路

　　細分驅動：將步進電機的一個步距角細分為若干步的驅動方法。