以電容器為敏感元件，將機械位移量轉換為電容量變化，可進行位移的測量。平行板電容器的電容與極板面積成正比，與極板間距成反比。由一個固定極板和一個可移動極板，可以組成變面積式電容傳感器。改變兩極板的對應面積，傳感器的電容隨之變化。

　　容柵位移傳感器是基于變面積工作原理的電容傳感器，其電極的排列如同柵狀，相當于多個變面積型電容傳感器的并聯。容柵結構如下圖所示，定極板為兩組等間隔交叉的極柵，動極板的極距相同且柵寬相同。動極板相對于定極板移動時，機械位移量轉變為電容值的變化，通過電路轉化得到電信號的相應變化量。

　　物理實驗中使用的一種電子數顯尺，就是采用如下圖所示的多級片型容柵作為傳感器，動尺的多組柵片并聯是為了提高測量精度及降低對傳感器制造精度的要求。動極板在移動的過程中，始終與不同的小電極組成差動電容器。動尺相對于定尺移動時，電容周期變化，產生的脈沖信號通過電路轉化放大及芯片計算得到位移值的變化，并顯示出來。