信息更新: 2013年12月19日

通過與導槽并用的方式設定落座位置

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂

獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調光方式

使用環保導線（無滑石粉）

信息更新: 2013年12月19日

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      EE-SPY801 / 802 晶圓片托架落座傳感器
      
   
   
   
           
      
              
      
                
      
               EE-SPY801 / 802 晶圓片托架落座傳感器               
               
      信息更新: 2013年12月19日










通過與導槽并用的方式設定落座位置




































與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂




































獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架




































采用抗干擾光的變調光方式




































使用環保導線（無滑石粉）

































信息更新: 2013年12月19日               
                
      
              
      
              
              
      
           
      
   
   

      
       
   
   
       
       
  
      

     
   
   
   
   
   
      
        
         
    
      
    
  






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